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北京中科泰龙电子技术有限公司

北京中科泰龙电子技术有限公司成立于 1992 年,是中国科学院微电子研究所的控股公司,公司依托微电子所强大的科研实力和人才技术优势,遵循市场导向,致力于推动微电子所科研成果的落地和产业化。

1992

公司成立于

30余年

技术积累

1000+

国内外销售设备

300+

国内外合作客户

产品与技术

专业从事微纳加工设备研发与制造

PRODUCTS CENTER

产品中心

RIE反应离子刻蚀机

RIE反应离子刻蚀机

ICP高密度等离子体刻蚀系统

ICP高密度等离子体刻蚀系统

ICP高密度等离子体刻蚀系统刻蚀范围:硅基:Si、SiNx、SiO2、Ge、GeSi、深硅刻蚀等Ⅲ-Ⅴ、Ⅱ-Ⅵ、蓝宝石、SiC、金属(Al、Nb、W)等高密度等离子体支持8英寸或以下尺寸整片以及碎片刻蚀Load-Lock双腔,真空机械手传输气路数量可根据用户需求配置背氦精确控温,可实现低温/高温刻蚀软硬件互锁机制基于Windows操作软件,具备系统监测、工艺编辑、参数显示等功能,具备储存工艺日志和操作记录的能力可基于用户需求定制
 石墨烯CVD

石墨烯CVD

资料整理中···
 去胶机

去胶机

可快速去除光刻胶、有机物、或实现表面改性功能尺寸定制,整片以及碎片处理Ar、O2两路工艺气体触屏操作

合作伙伴/成功案例

ENGINEERING CASE

不断提高产品质量,根据客户需求提供系统、完整、高端的微纳加工设备及解决方案,赢得了国内外高校研究所的美誉和信赖。

NEWS CENTER

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北京市政府与中科院等共建北京量子信息科学研究院
近日,加快建设北京量子信息科学研究院工作座谈会召开。市委副书记、代市长陈吉宁讲话。  为承接国家重大科技任务,助力全国科技创新中心建设,北京市政府联合中国科学院、军事科学院、北京大学、清华大学、北京航空航天大学等单位共同建设北京量子信息科学研究院。研究院将整合北京地区现有量子物态科学、量子通信、量子计算等领域骨干力量,引进全球顶级人才,在理论、材料、器件、通信与计算及精密测量等方面开展基础前沿研究
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泰龙电子被认定为“ 北京市工程技术研究中心”
2017年2月,北京泰龙电子技术有限公司被科委认定为“北京市工程技术研究中心”。作为“北京市微电子制备仪器设备工程技术中心”的共建单位,  海新国际博览中心圆满落幕。北京泰龙电子技术有限公司携RIE设备海新国际博览中心圆泰龙电子继续引领中国高端半导体制造行业。北京市工程技术...
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热烈祝贺泰龙电子荣获“国家高新技术企业”称号
近日,北京泰龙电子技术有限公司顺利通过北京市科学技术委员会、北京市财政局、北京市国家税务局、北京市地方税务局等四部门的联合评审验收,  海新国际博览中心圆满落幕。北京泰龙电子技术有限公司携RIE设备海新国际博览中心被认定为“国家级高新技术企业”。这是泰龙电子坚持以科技...
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麻省理工(MIT)Martin Schmidt教授一行调研泰龙
3月27日,麻省理工大学MITMartinSchmidt教授到北京泰龙电子技术有限公司净化间调研,实地参观泰龙电子的微纳加工平台,并与一线科研人员  就设备技术等方面的问题进行了充分交流。实地参观泰龙电子的微纳加工平台,并与一线科研人员实地参观泰龙电子的微纳加工北京泰龙电子技术有...
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